Тънкослойна електроника

стендове и апаратура за електрическо, оптично и механично характеризиране на тънки слоеве и микроелектронни структури

апаратура за легиране на полупроводникови пластини чрез дифузия и химическо отлагане от газова фаза

установка за тестване на инфрачервени преобразуватели

установка за вибрационно тестване на пиезоелектрични преобразуватели и други микроелектронни елементи изградени върху гъвкав носител

установка за измерване на волт-яркостни характеристики на електролуминесцентни и други дисплеи

установка за тестване на органични светоизлъчващи прибори

импедансни анализи на фероелектрични и резонансни системи

апаратура за термично окисление на силиций, камера с инертна атмосфера и четирисондова установка за листово съпротивление

стендове и апаратура за електрическо, оптично и механично характеризиране на тънки слоеве и микроелектронни структури

апаратура за електрически и оптични измервания на тънкослойни електронни устройства