Дейности

Научно-изследователската работа към лабораторията е свързана с разработване на технологии за синтез на наноматериали и изследване на тънкослойни електронни и микроелектронни устройства (пиезоелектрични и фотоелектрични микрогенератори, газови сензори, носими биосензори, тънкослойни суперкондензатори, дисплейни структури, инфрачервени детектори, сензори за натиск, температура и триене), интегрални схеми, микроелектромеханични системи. За изпълнение на тези дейности, освен технологичните установки, лабораторията разполага със специализирано измервателно оборудване, като установка за импедансен анализ, снемане на волт-яркостни и волт-амперни характеристики, за оценка на квантовата ефективност на фотоприемници и фотоизлъчватели в тънкослойно изпълнение, установка за измерване на концентрацията и енергийното разпределение на дефектите в мирко- и наноелектронни тестовите структури, апаратура за измерване на листово и контактно съпротивление на слоевете и интерфейсите между тях, апаратура за измерване на паразитни реактивни съставки и утечни токове, 3-D оптичен микроскоп и профилометър за наблюдение на релефа на слоеве, установки за задаване на различни по честота и амплитуда вибрации за механично натоварване на гъвкави структури и измерване на тяхната кратковременна и дълговременна стабилност.