Тънкослойна електроника

Лабораторията разполага с инсталации за получаване на тънки, наноразмерни слоеве чрез химическо отлагане от паро-газова фаза при ниско и високо налягане (LP CVD и HP CVD); инсталация за синтез на наноструктури, включително графенови и за вграждане на квантови точки в нанопокрития за модифициране на свойствата им; инсталации за термично окисление на силиций, и за дифузия на легиращи примеси в полупроводникови пластини; камера с инертна атмосфера за специализирани измервания в среда, изолирана от околната. За тестване на изготвяните образци, лабораторията разполага със стендове за пълно електрическо, оптично, механично и структурно характеризиране на микро- и наноелектронни и миркоелектромеханични системи. В лабораторията се провеждат упражнения на бакалаври и магистри от 4 факултета по дисциплините „Тънкослойна електроника“, „Микроелектронни технологии за алтернативни източници на енергия“, “Материалознание в микроелектрониката”, „Производствени процеси в микроелектрониката“, „Технологии за мирко- и наносистеми“, “Технология на микроелектромеханичните системи”, “Производствени процеси в електронната индустрия”, „Дисплеи“ и др. В лабораторията се изпълняват дейности, свързани с технологично-ориентирани проекти и се обучават докторанти по научни специалности „Технология на електронното производство“ и „Интегрална схемотехника, материали, технологии и специално обзавеждане“.