Фотолитография и галваника

Лабораторията разполага с професионални инсталации за фотолитографско прехвърляне на топологията на интегрални схеми, МЕМС системи и печатни платки върху физически носители – полупроводникови пластини и диелектрични носители (керамични и текстолитни). Част от инфраструктурата на лабораторията са устройство за съвместяване на фотошаблони и формиране на топология на няколко нива; химически камини с аспирация и течащи обикновена, дестилирана и дейонизирана вода за осигуряване на локален микроклимат с контролируеми чистота и температура за почистване на носители и извършване на селективно ецване на покрития; станции за електрохимично отлагане и анодиране на покрития; ситопечатен принтер за дебелослойна технология и печат върху планарни, гъвкави и тримерни носители; ултразвуков пулверизатор за аерозолно нанасяне на органични покрития; криостат и пещ за тестване на поведението на микроелектронни структури при температурни цикли, специализирани микроскопи за микроелектрониката. В лабораторията се провеждат упражнения на бакалаври и магистри от 4 факултета по дисциплините „Технологии за микро- и наносистеми“, „Наноматериали“, “Материалознание в микроелектрониката”, „Производствени процеси в микроелектрониката“, “Технология на микроелектромеханичните системи”, “Производствени процеси в електронната индустрия”, „Практикум“ и др. В лабораторията се изпълняват дейности, свързани с технологично-ориентирани проекти и се обучават докторанти по научни специалности „Технология на електронното производство“ и „Интегрална схемотехника, материали, технологии и специално обзавеждане“.