Вакуумни и високотемпературни процеси

Лабораторията разполага с вакуумни инсталации за получаване на тънки, наноразмерни слоеве от проводящи, полупроводникови и диелектрични материали чрез три различни метода за различни приложения в електрониката и микроелектрониката, както и инсталации за термично окисление на силиций, и за дифузия на легиращи примеси в полупроводникови пластини.  В лабораторията се провеждат упражнения на бакалаври и магистри от 4 факултета по дисциплините “Материалознание в микроелектрониката”, „Технологии за мирко- и наносистеми“, „Производствени процеси в микроелектрониката“, “Практикум”, “Технология на микроелектромеханичните системи”, “Производствени процеси в електронната индустрия”, „Дисплеи“ и др. В лабораторията се изпълняват дейности, свързани с технологично-ориентирани проекти и се обучават докторанти по научна специалност „Технология на електронното производство“.