Вакуумни и високотемпературни процеси

9_.jpg

Лабораторията разполага с вакуумни инсталации за получаване на тънки, наноразмерни слоеве от проводящи, полупроводникови и диелектрични материали за различни приложения в електрониката и микроелектрониката, както и инсталация за термично окисление на силиций.  В лабораторията се провеждат основната част от упражненията по дисциплините “Материалознание в микроелектрониката”, “Дисплеи”, “Методи за нанасяне на слоеве в електрониката”, “Конструкция и технология на електронната апаратура”, “Технологичен практикум”, “Технология на микроелектромеханичните системи”, “Производствени процеси в електронната индустрия”.

Адрес:

Технически университет-София
София 1000,
бул."Кл. Охридски" 8

Блок:  Етаж:  Кабинет:  

Ръководител:

гл. ас. д-р Георги Добриков
Имейл: ghd_admin@tu-sofia.bg
Телефон: 3085
Кабинет: 1000-В