Лабораторията разполага с професионални инсталации за фотолитографско прехвърляне на топологията на интегрални схеми, МЕМС системи и печатни платки върху физически носители – полупроводникови пластини и диелектрични носители (керамични и текстолитни). Част от инфраструктурата на лабораторията включва:
- устройство за съвместяване на фотошаблони и формиране на топология на няколко нива;
- химически камини с аспирация и течащи обикновена, дестилирана и дейонизирана вода за осигуряване на локален микроклимат с контролируеми чистота и температура за почистване на носители и извършване на селективно ецване на покрития;
- станции за електрохимично отлагане и анодиране на покрития;
- ситопечатен принтер за дебелослойна технология и печат върху планарни, гъвкави и тримерни носители;
- ултразвуков пулверизатор за аерозолно нанасяне на органични покрития;
- криостат и пещ за тестване на поведението на микроелектронни структури при температурни цикли;
- специализирани микроскопи за микроелектрониката.
В лабораторията се провеждат упражнения за бакалаври и магистри от четири факултета по дисциплините:
- „Технологии за микро- и наносистеми“,
- „Наноматериали“,
- “Материалознание в микроелектрониката”,
- „Производствени процеси в микроелектрониката“,
- „Технология на микроелектромеханичните системи”,
- „Производствени процеси в електронната индустрия”,
- „Практикум“, и други.
В лабораторията се изпълняват дейности, свързани с технологично-ориентирани проекти, и се обучават докторанти по научните специалности „Технология на електронното производство“ и „Интегрална схемотехника, материали, технологии и специално обзавеждане“.
Ръководител:
![[BG] Фотолитография и галваника](https://i.d3v.cloud.tu-sofia.bg/UZ3iWSkcWdcCoRecNiT9UxUBApKhLNgDhZkKAFnjB_o/rs:fit:1200/plain/s3://website/labs/SJjnAGM0c0vkaP2L0ACcuBj7Isp0M2xzPkbWC3IR.jpg@webp)